PECVD缩写的意思 - 等离子增强的化学蒸发沉积
【英文缩写】PECVD
【英文全称】plasma enhanced chemical vapor deposition
【中文解释】等离子增强的化学蒸发沉积
【缩写简介】一种常用的表面修饰方法。广泛应用于微电子加工的集成电路制造工艺中。
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