ECRCVD

基本解释

• 微波电子回旋共振等离子体

同根派生

• ECRCVD相关词

英汉例句

• High quality a-Si: H thin films deposited with high rate by HW-MW ECRCVD
  法高速沉积优质氢化非晶硅薄膜
• Studies of Structure and Properties for a-C:F:H Films Deposited by Micro-Wave ECRCVD
  微波ECRCVD制备a-C：F：H薄膜的结构与性能研究

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